功能描述：

快速實現(xiàn)室溫-350℃環(huán)境的控溫，可在真空環(huán)境下對樣品進行光學，電學測試，測試中也可實現(xiàn)惰性氣體的快速充放。根據(jù)樣品材料，形狀不同可選擇探針，插拔等多種安裝測試方式。

技術參數(shù)：

1· 溫度范圍：室溫-350℃；

2· 控溫精度：0.5-1K，和樣品臺的水冷回路水溫穩(wěn)定性相關，盡量做到zui低。

3· 樣品臺尺寸：51mm

4· 標準K型熱電偶

5· 真空度：10E-3Pa；

6· 提供真空抽口*1、氣體入口*1、真空釋放口*1；

7· 匹配觀察窗：1

8· 匹配探針臂：2；探針臂移動精度：10μm；針尖：1μm；探針移動范圍：±12.5mm；

9· 另留2個探針臂接口備用；

10.樣品臺水冷回路；

11.探針臂接口：真空型3同軸接口，所有電學線路采用屏蔽設計，測試精度：pA

12· 樣品：51mm  最小1mm  最小電極100um

13· 4升真空，1臺 ，顯微鏡1臺