錦正茂三維磁場(chǎng)探針臺(tái)北京錦正茂科技有限公司提供的一維 、二維 、三維磁場(chǎng)探針臺(tái)，采用無磁材料制成，一維 、二維 、三維三對(duì)亥姆霍茲線圈正交放置，產(chǎn)生空間一維 、二維 、三維磁場(chǎng)。線圈可采用風(fēng)冷（磁場(chǎng)較?。┮部刹捎盟浣Y(jié)構(gòu)（磁場(chǎng)較大），并且配備有線圈過熱保護(hù)裝置。和錦正茂生產(chǎn)的高精度雙極性直流電源配合使用可以長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。通過軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流，可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場(chǎng)。探針臺(tái)配備有可移動(dòng)樣品臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和樣品臺(tái)360度轉(zhuǎn)動(dòng)，便于樣品的安裝和測(cè)試。探針臺(tái)具有四個(gè)高精度探針臂，同時(shí)配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號(hào)，用來測(cè)試芯片、晶圓片、封裝器件等。
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錦正茂三維磁場(chǎng)探針臺(tái) 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。三維探針臺(tái)和錦正茂自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實(shí)現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場(chǎng)合成。
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t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝裝置
t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí)
t 超高溫升級(jí)選件
t 超高真空升級(jí)選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉(zhuǎn)接頭
t 靜音真空泵
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技術(shù)指標(biāo)：
三維磁場(chǎng)探針臺(tái) | |||
型號(hào) | T8-500-3 | T8-300-3 | T8-100-3 |
材質(zhì) | 所選材料均為無磁材質(zhì) | ||
磁場(chǎng)范圍 | 500Gs | 300Gs | 100GS |
線圈材質(zhì) | 耐高溫漆包線 | ||
磁場(chǎng)均勻性 | 中心區(qū)50毫米球體內(nèi)1% | ||
電源穩(wěn)定性 | 三臺(tái)高精度直流電源 50ppm可選10ppm | ||
磁場(chǎng)分辨率 | 0.05 mT | ||
角度分辨率 | 0.02° | ||
樣品固定方式 | 吸盤或者壓片 | ||
樣品臺(tái)直徑 | 50mm可定制 | ||
顯微鏡 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光 | ||
放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X | ||
探針臂數(shù)量 | 2、4可選 | ||
探針臂行程 | 25mm-25mm-12mm可更換 | ||
探針臂移動(dòng)精度 | 10μm /2μm/1μm/0.7μm可選 | ||
探針長(zhǎng)度 | 38mm | ||
探針直徑 | 0.51mm | ||
針尖直徑 | 10μm/5μm/1μm | ||
探針材料 | 鎢/鈹銅/GGB | ||
漏電精度 | 100fA | ||
顯微鏡 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光 | ||
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